太阳能多晶硅锭中夹杂的物相与分布特性

作者：邓太平; 毛文行; 尹传强; 刘兵发; 杜国平; 周浪

来源：材料科学与工程学报, 2008, (03): 449-452.

DOI：10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2008.03.037

• 太阳能
• 多晶硅
• 夹杂

多晶硅锭中经常出现硬质夹杂颗粒,严重影响线切割硅片的表面质量,严重时造成硅片切割生产中断线。我们采用光学显微镜、扫描电镜-特征X射线能谱仪、X射线衍射仪等手段对定向凝固多晶硅锭中的夹杂进行了分析。采用溶解硅基体后沉淀萃取的方法取得硅锭不同部位的夹杂。分析结果表明,硅锭中夹杂的物相主要有两种:β-SiC和β-Si3N4,SiC的数量较多;二者形貌有显著区别:前者呈不规则块状,而后者则呈平直杆状。硅锭的顶表面附近夹杂高度富集,但内部仍偶有大于100微米的较大的碳化硅夹杂颗粒出现。

• 单位
  南昌大学材料科学与工程学院