磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜

作者：张敏; 杜鹃

来源：中国新技术新产品, 2019, (05): 12-13.

DOI：10.13612/j.cnki.cntp.2019.05.006

• 直流磁控溅射技术
• 低温制备
• 高电导
• 高透明
• 氢掺杂AZO薄膜

通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用。由此可以证明,引入适量氢气,有利于提升AZO薄膜的电阻率。

• 单位
  青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司