专题征稿《激光与光电子学进展》超精密测量技术

来源：激光与光电子学进展, 2022, 59(11): 529.

<正>超精密测量是指测量精度达到纳米量级的先进测量技术、系统与仪器,是现代科技发展与高端装备制造的基石,涉及物理、材料、光学、机械、电子、控制和算法等多个学科的深度交叉与融合。超精密测量主要以非接触的光学测量方式为主,其涉及干涉、衍射、光谱、偏振和散射等基础效应与测量原理,具有分辨力高、速度快、非破坏、易于集成等优势,一直是超精密测量的重点发展方向。近年来随着现代光学与光电子学的快速发展(如微纳光学、极短波长光学、量子光学),出现了若干新的光学测量原理与方法,推动了超精密测量向更高分辨、更高精度、更高效率和更高性能等方向不断发展。