一种提高干涉测量系统抗测量镜偏摆能力的方法

作者:李瑞君; 赵文楷; 李鑫; 张连生; 黄强先
来源:2021-07-23, 中国, ZL202110839109.4.

摘要

本发明公开了一种提高干涉测量系统抗测量镜偏摆能力的方法,干涉测量系统由激光光源、干涉光路、参考镜、测量镜、光电检测器以及信号处理模块所组成;通过包括光电检测、I/V转换、差分放大、直流自动补偿、正交化及正则化的信号处理方式对干涉信号进行在线自适应处理,得到两路等幅正交干涉电压信号,实现对干涉信号中幅值、相位以及直流偏移误差的补偿,间接提高测量镜的抗偏摆能力。本发明在提高测量系统测量精度的同时,能有效提高测量系统抗测量镜偏摆的能力,扩大测量行程。