基于PSD的微小位移测量研究

作者：曾为; 陈培锋; 李超

来源：光学与光电技术, 2006, 4(02): 54-56.

DOI：10.3969/j.issn.1672-3392.2006.02.015

• 激光测量
• 微小位移
• 多次反射
• PSD

介绍了一种新型的纳米精度光学测量系统。该系统结合半导体位置探测器件(Position Sensitive Detection,PSD)及现代计算机技术,利用激光在两平面镜间多次反射,将测量镜的纳米量级被测物位移放大到PSD能够分辨出的微米量级的位移,从而利用相对低精度的手段完成高精度的测量。实验表明此系统能够对微小位移进行放大测量,测量精度达到11．5 nm。

• 单位
  华中科技大学