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摘要
本发明公开了一种超快原子力显微镜系统,其特征在于采用带有扩展接口的原子力显微镜与高速电流放大器、高速数据采集处理模块和皮秒激光器组成的测试系统,实现对半导体纳米颗粒或电子器件中的载流子动力学进行超快原位测量,所述带有扩展接口的原子力显微镜包括：激光二极管、光斑位置灵敏探测器、低通滤波器、扫描反馈数据采集电子学模块、扫描器、高压放大器、原子力针尖、锁相放大器和电脑。本发明与现有技术相比具有把扫描速度提高到能够看到这些微区中的动态物理特性,实现同时具有纳秒空间分辨率和纳秒时间分辨率的超快原子力显微镜,满足时间分辨数据和空间位置的对应关系,克服了原子力显微镜中的时间响应太慢的缺点。
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