利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法

作者：张立超; 金春水

来源：微细加工技术, 2007, (03): 27-29+42.

• 极紫外
• 多层膜
• 高频粗糙度
• 平滑层
• 功率谱密度 extreme ultraviolet
• multilayer
• high frequency roughness
• smoothing layer
• PSD

在极紫外多层膜反射镜中,基底高频粗糙度是影响多层膜反射率的重要因素。通过在粗糙基底上镀制平滑层薄膜,可以有效降低基底粗糙度。叙述了平滑层减小多层膜基底粗糙度的原理,研究了不同镀膜工艺条件下平滑层对基底粗糙度减小效果的影响。结果表明,当工艺参数选择合适时,在粗糙基底上镀制平滑层,可以减小基底粗糙度。