一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器及制备方法

作者：章秀银; 薛艳梅; 吴子莹; 周长见

来源：2019-07-25, 中国, CN201910675732.3.

本发明公开了一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器及制备方法,由上至下依次包括电极铝、压电基片钽酸锂、温度补偿层二氧化硅及衬底硅；所述衬底设有空腔,空腔与贯穿于温度补偿层、压电基片的释放通孔相通,所述压电基片为单晶材料。本发明在不改变压电基片的厚度情况下,谐振器的中心频率随着电极对激励方向的改变而发生变化。

• 单位
  华南理工大学