平板显示行业用金属溅射靶材的市场需求分析

作者:张卫刚; 李媛媛*; 孙旭东; 王鹏; 闫文娟
来源:真空科学与技术学报, 2018, 38(09): 821-824.
DOI:10.13922/j.cnki.cjovst.2018.09.15

摘要

薄膜晶体管液晶显示面板(TFT-LCD)是当前的主流平面显示技术,而金属溅射靶材是制造TFT-LCD过程中最关键的材料之一。目前,国内主流的8.5代液晶显示面板生产线所使用的金属溅射靶材,以铝、铜、钼和钼铌合金等四种靶材的需求量最大,且每套包含12块条靶,每块条靶的尺寸约为:2650 mm×210 mm×18 mm。其中,铝靶和铜靶主要被爱发科电子材料有限公司等日资企业主导,钼条靶正在被国内的洛阳高新四丰电子材料有限公司等企业全面替代,钼铌合金主要被日本日立金属和德国世泰科所垄断。