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摘要
研制了一套成像光谱仪，该光谱仪波长范围400～900nm，光谱分辨率5nm。利用该光谱仪对铀表面氮化过程中腔体内的等离子体进行诊断测试，得到了等离子体的空间分布情况。氮化腔体内等离子体空间分布不均匀；同一种元素同一价态下空间分布基本相同，但强度变化明显；同一种元素不同价态下，等离子空间分布状态存在着明显的不同；等离子体空间分布状态与工件摆放姿态存在一定的关系。该技术还可用于其它表面处理工艺过程中腔体内的等离子体空间分布诊断。
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研制了一套成像光谱仪，该光谱仪波长范围400～900nm，光谱分辨率5nm。利用该光谱仪对铀表面氮化过程中腔体内的等离子体进行诊断测试，得到了等离子体的空间分布情况。氮化腔体内等离子体空间分布不均匀；同一种元素同一价态下空间分布基本相同，但强度变化明显；同一种元素不同价态下，等离子空间分布状态存在着明显的不同；等离子体空间分布状态与工件摆放姿态存在一定的关系。该技术还可用于其它表面处理工艺过程中腔体内的等离子体空间分布诊断。
