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摘要
本发明提供一种NOR Flash的版图及制备方法,NOR Flash的版图包括有源区图形、浮栅图形和控制栅图形,浮栅图形与有源区图形垂直相交设置,且在每个相交点上均具有一个所述浮栅图形,浮栅图形位于控制栅图形内,使得采用NOR Flash的版图制备时控制栅将浮栅的上表面和侧壁均覆盖,即控制栅将浮栅的五个表面覆盖,从而增加了两个覆盖表面,使得优化后的NOR Flash的版图可以提高NOR Flash存储单元的耦合系数,降低高压器件工艺的实现难度,同时本发明的版图简单、可操作性高、易于实现。
- 单位
