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摘要
本发明公开了一种均匀灵敏度低耦合三维加速度计及其建模设计方法,由均匀灵敏度的三维拾振单元和低耦合的三维感测单元构成；三维拾振单元是在铍铜簧片上固定设置十字悬浮片,铍铜簧片是由四条等长边框形成的正方形状,十字悬浮片的四个远端分处在铍铜簧片各边框的中心位置处,以十字悬浮片的两个直线方向分别作为X和Y轴；四个质量块一一对应固定设置在十字悬浮片的四个远端位置处,形成具有三自由度、且能够互相解耦的三维拾振模块；低耦合的三维感测单元用于检测三维拾振单元相对于加速度计固定座的运动信息,根据运动信息实现三维加速度的检测。本发明能够实现高精度的三维微振动检测,进而实现三维低频微振动的精确抑制,适应性强、成本低且装调方便。
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