超临界流体和高压液体在微电子领域的应用得到了广泛的研究,研究内容主要集中在芯片清洗,光刻胶去除,清洗后干燥等方面。此外,超临界流体还在低介电材料的保护和修复,显影和旋涂,微器件制造等方面有非常好的应用前景。上述超临界过程常可以解决常规处理无法解决的问题,极大的发挥了超临界流体的优势,将会是未来超临界流体的主要应用方向。
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