底部出光纳米孔径面发射激光器的研究

作者：高建霞; 王岭娥

来源：光电子-激光, 2012, (12): 2283-2286.

DOI：10.16136/j.joel.2012.12.005

• 垂直腔面发射激光器(VCSEL)
• 纳米孔径
• 输出光功率
• 温度特性 vertical-cavity surface-emitting laser(VCSEL)
• nano-aperture
• output power
• temperature characteristics

在普通大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)基础上,制备出了底部出光纳米孔径VCSEL。利用聚焦离子束刻蚀技术完成纳米孔径的制作。当小孔直径为480nm×480nm时,测量得到器件的远场输出光功率为0.07mW。并分析了温度的变化对该器件远场输出光功率的影响。

• 单位
  华北理工大学