摘要

基于平行光束的远场干涉衍射原理,经涡旋位相板编码的激光光束可在中央产生干涉暗斑,且暗斑的中心位置只由涡旋位相板中心点决定,不随光束漂移变化。采用暗斑作为扫描光斑,具有比传统扫描光斑更大的扫描范围和更精确的定位,通过记录扫描过程中暗斑的中心位置,对两导轨轨迹进行直线拟合并计算垂直度。实验得到X导轨拟合直线方程为y=0.139 5x+0.142 8,拟合系数R2=0.999 4,Y导轨拟合直线方程为y=-17.17x-0.061 26,拟合系数R2=0.999 9。两直线的夹角为85.4°,垂直度误差大小约为4.6°。误差主要是由环境振动和所用CCD像素切割的垂直度所引起。理论分析和实验结果证明了...

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