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摘要
对于高功率激光系统来说,其内部的洁净度是激光系统能否高通量稳定运行的关键因素之一。从构建系列洁净标准体系出发,通过以下三种手段建立高功率激光系统洁净控制体系:面对单一样本,提炼全域性洁净问题;关键点突破,带动洁净控制体系化建设;拓展应用,在实践中完善洁净控制标准体系。最终形成了具有我国特色激光系统的“六标”,成功构建了我国激光系统的CCP(洁净控制协议),为我国激光系统的洁净控制迈出了极为关键的第一步。
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对于高功率激光系统来说,其内部的洁净度是激光系统能否高通量稳定运行的关键因素之一。从构建系列洁净标准体系出发,通过以下三种手段建立高功率激光系统洁净控制体系:面对单一样本,提炼全域性洁净问题;关键点突破,带动洁净控制体系化建设;拓展应用,在实践中完善洁净控制标准体系。最终形成了具有我国特色激光系统的“六标”,成功构建了我国激光系统的CCP(洁净控制协议),为我国激光系统的洁净控制迈出了极为关键的第一步。
