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直流磁控溅射制备低温高迁移率锆铟氧薄膜晶体管

作者：肖鹏; 董婷; 兰林锋; 罗东向; 彭俊彪
来源：中国,江苏省,苏州市.

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更新时间：2019-06-28 11:00