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摘要
复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件，其自身的几何参数在影响抽气性能的同时也影响检漏仪的检测性能。基于分子泵抽气基本理论，建立了复合分子泵牵引级的计算模型，通过改变螺旋升角、牵引槽深度和转子与定子的间隙，分别计算了复合分子泵牵引级对氦质谱检漏仪涉及到的2种气体——空气和氦气在不同工况下的抽气性能，研究了复合分子泵牵引级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响。结果表明，随着螺旋升角和牵引槽深度增大，氦质谱检漏仪的灵敏度均先提高后下降；增大转子与定子间隙，不利于氦质谱检漏仪灵敏度的提高；选取螺旋升角为22°、牵引槽深为2.5 mm、转子与定子间隙为0.3 mm时，氦质谱检漏仪具有较高的灵敏度，同时复合分子泵牵引级性能可靠且结构安全。
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单位东北大学; 自动化学院
