PTC等静压机在层压工艺中的故障判断分析

作者：张辉

来源：设备管理与维修, 2022, (04): 54-56.

DOI：10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2022.02D.27

• 层压工艺
• 等静压机
• 操作
• 维护保养

介绍低温共烧陶瓷层压工艺的特点,拆解分析PTC等静压机各部分的组成结构,详细解析层压设备的工作原理和工艺流程。以理论知识为基础,结合多年的半导体设备维修经验,依据故障树分析法梳理常见的故障现象,并给出相应的处理方法及解决步骤。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所