激光火工品用MgAlH储氢薄膜的制备及驱动飞片性能研究

作者：艾梦婷; 王亮^*; 唐舵; 蒋洪川; 孙宁恺

来源：电子元件与材料, 2020, 39(11): 62-66.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.0433

• 激光火工品
• MgAlH储氢薄膜
• 磁控溅射技术
• PDV测速
• 热导率
• 光吸收率

采用磁控溅射技术在直径为5.8 mm的蓝宝石基底上制备厚度约为1μm的MgAlH储氢薄膜,溅射气氛为体积流量比3∶1的氩氢混合气,采用SEM和XRD技术对MgAlH薄膜的微观结构和成分进行表征。研究结果表明,相较于MgAl薄膜,制备的MgAlH薄膜表面比较粗糙,致密度较低。XRD分析结果表明,MgAlH薄膜中存在MgH2相。根据薄膜样品的XRD图谱,利用K值法计算得到MgAlH薄膜中MgH2的相对含量为质量分数30%。相较于MgAl薄膜,MgAlH薄膜的热导率未发生明显改变,但其光吸收率提高了18%左右。将MgAlH储氢薄膜装配成飞片靶,利用PDV系统对薄膜驱动飞片速度进行测试,结果表明,相较于纯MgAl薄膜,MgAlH储氢薄膜驱动飞片的速度提升了15%。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学