转子对磁悬浮转子真空计计量特性的影响研究

作者：周明旭; 李得天^*; 郭立新^*; 郭美如; 习振华; 李宇; 李刚; 邓永胜

来源：真空与低温, 2021, 27(06): 581-588.

• 磁悬浮转子真空计
• 转子
• 计量特性
• 零点稳定性

磁悬浮转子真空计是一种精密的黏滞型真空计,其核心部件是一个悬浮在真空中自由旋转的金属球(转子)。通过对不同直径变动量、球形误差、表面粗糙度、材质的转子进行对比实验,研究了转子与磁悬浮转子真空计稳定性、气体种类的相互关系及原因。结果表明,直径变动量为0.13μm、球形误差为0.13μm、粗糙度为0.014μm、直径为4.5 mm的GCr15高碳铬轴承钢材料转子具有最好的零点稳定性及较小的测量不确定度。

• 单位
  东北大学; 兰州空间技术物理研究所; 自动化学院