摘要
<正>《真空科学与技术学报》由中国真空学会主办,是中国科学技术协会审定的国家级自然科学技术刊物,月刊,国内外公开发行。本刊论文被CA、SA和INSPEC等国际著名检索系统收录。《真空科学与技术学报》刊载的论文的内容主要涉及如下学科:真空科学与技术、薄膜物理与工艺、表面及界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料与处理、纳米科学与技术、电真空技术、核真空技术及真空冶金等。本刊欢迎上述学科领域内的科研论文、研究报告、工艺研究、动态综述、工业技术等稿件,对于开创性的发明、发现等新成果,将优先发表。(一)稿件要求1.文稿务必立论明确,论证严谨,数据可靠,文字精练。特约稿、综述论文一般8 000字以内,学术论文6 000字以内,技术交流4 000字以