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摘要
采用高频高压等离子体电源对圆管形放电室进行放电试验,研究了放电电压、氧气体积流量和氧气体积分数等关键参数对臭氧生成的影响.结果表明:臭氧质量浓度随放电电压的升高而不断增加,但当放电电压继续升高时,温度升高引起臭氧分解加速,最终导致臭氧质量浓度下降;氧气体积流量增加,臭氧质量浓度减小,在氧气体积流量为1L/min时,臭氧质量浓度最高可以达到138g/m3,臭氧电耗先减少后增加;氮气的存在会增大击穿电压,因此氧气质量浓度越高,越容易被电离,臭氧质量浓度越高,臭氧电耗越低.
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单位浙江大学; 能源清洁利用国家重点实验室
