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摘要
半球谐振陀螺是具有精度高、质量小、寿命长等特点的新型固态陀螺，在航海、航空、航天等领域有着广泛应用前景。半球谐振陀螺的质量不均匀性调平技术是制造高精度半球谐振陀螺的关键技术。针对半球谐振陀螺质量不均匀性调平技术，首先对谐振子性能影响最大的四次谐波缺陷辨识方法及其关键性能指标发展现状进行了分析；其次，对影响谐振子性能的一次、二次、三次谐波缺陷辨识方法进行了归纳梳理；然后，总结分析了谐振子四类调平工艺——传统机械加工、化学刻蚀、激光刻蚀和离子束刻蚀的工艺方法及特点；最后，展望了谐振子调平技术待解决的问题及未来研究的重点。
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单位北京航天控制仪器研究所
