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摘要
本发明公开的一种MEMS镜扫描畸变自适应矫正的方法、装置、系统及存储介质,方法包括：根据预先加载的行列式扫描参数控制MEMS镜对待采集平面进行行列式扫描；根据投射在待采集平面的激光点,采集MEMS镜进行行列式扫描的扫描路径；为扫描路径建立直角坐标系；根据扫描路径中各激光点在直角坐标系中的坐标数据计算扫描路径在水平方向的水平畸变量和垂直方向的垂直畸变量；基于水平畸变量与垂直畸变量对MEMS镜的行列式扫描参数进行矫正处理,以使MEMS镜基于矫正处理后的行列式扫描参数对待采集平面进行行列式扫描。该方法可驱动MEMS镜完成无畸变扫描。
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