炭/炭复合材料化学气相沉积设备研究

作者:戴煜; 胡祥龙; 胡高健
来源:新材料产业, 2018, (07): 57-62.
DOI:10.19599/j.issn.1008-892x.2018.07.014

摘要

<正>炭/炭复合材料是国家航空航天的关键材料,制备高性能炭/炭复合材料的关键是化学气相沉积设备与技术。我国在炭/炭复合材料的化学气相沉积工艺和制备研究上已取得了较大的进展,但与美、俄、法等发达国家相比还存在较大的差距,特别是在大尺寸、高要求炭/炭复合材料的沉积装备上,还存在一定的差距。一方面,设备的工作原理和总体结构基本满足工艺要求;另一方面,设备的可靠性差、稳定性不够。一、化学气相沉积工艺介绍

  • 单位
    湖南顶立科技有限公司

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