基于无氰镀金工艺的溶液循环泵研究

作者：魏红军; 谢振民; 祝福生

来源：清洗世界, 2023, 39(04): 59-61.

• 无氰镀金
• 磁悬浮泵
• 循环
• 沉积

在晶圆电化学沉积过程中，无氰镀金工艺对循环泵提出了更高要求，通过对比分析磁悬浮泵、磁力泵、风囊泵和隔膜泵特性及结构，磁悬浮泵镀液循环脉动小，液流平稳，泵头不会发生金属沉积现象，因此无氰镀金溶液循环常采用磁悬浮泵作为动力源。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所