防止IGBT测试短路烧针的改进方法研究

作者：方园

来源：集成电路应用, 2018, 35(05): 58-60.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2018.05.014

• 集成电路制造
• IGBT
• 测试
• 短路
• 针卡

绝缘栅双极型晶体管(IGBT)是一种混合型电力电子器件,具有工作频率高、驱动电路简单、电流大、电压高、耐用等优点,广泛应用于工业控制、智能电网、轨道交通以及家电等领域。为提高封装阶段的成品率,晶圆代工厂大都会进行硅片级的静态参数测试,而在测试过程中,测试针卡(probe)有时会因硅片生产过程中引入的缺陷导致的短路而烧毁。通过对测试程序的优化,从根本上消除了测试过程中烧毁针卡的可能性。

• 单位
  上海先进半导体制造股份有限公司