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摘要
柔性电子在柔性显示、智能蒙皮、健康医疗等领域具有广阔应用前景,已成为各国政府竞相发展的前沿领域,亟待在柔性电子制造关键技术与装备方面有所突破。本文综述了数字制造装备与技术国家重点实验室在柔性电子制造领域的最新研究进展,针对微纳结构跨尺度图案化、柔性致密薄膜高效低温制备、柔性混合系统高效集成、高速视觉在线缺陷检测制造需求,分别提出并发展了空间隔离原子层沉积技术、高分辨率电流体喷印技术、超薄芯片倒装键合技术及自动光学检测技术,阐述了这些技术在印刷显示、智能蒙皮、表皮电子、曲面电路等柔性电子领域的重要应用及突破性进展。
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单位华中科技大学; 数字制造装备与技术国家重点实验室
