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摘要
提出了静态膨胀法真空基础标准和动态流量法相结合的分压力校准方法,解决了10-6Pa以下极小分压力的校准难题。基于该方法研制了新一代极小分压力校准装置,在电子倍增器模式下,开展了单一气体进样四极质谱计灵敏度校准实验研究。研究结果表明分压力校准下限可延伸至1×10-9Pa,分压力校准范围为10-9～10-5Pa时对应的测量不确定度Ur=8.4%(k=2)。研究结果保障了质谱计应用于空间探测等领域时分压力测量结果的准确性。
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提出了静态膨胀法真空基础标准和动态流量法相结合的分压力校准方法,解决了10-6Pa以下极小分压力的校准难题。基于该方法研制了新一代极小分压力校准装置,在电子倍增器模式下,开展了单一气体进样四极质谱计灵敏度校准实验研究。研究结果表明分压力校准下限可延伸至1×10-9Pa,分压力校准范围为10-9～10-5Pa时对应的测量不确定度Ur=8.4%(k=2)。研究结果保障了质谱计应用于空间探测等领域时分压力测量结果的准确性。
