超精密加工的应用日益广泛,其加工精度和表面质量要求都很高,需要相应的超精密检测手段予以保证。激光干涉仪、光栅、X射线干涉仪、扫描探针显微术、电容电感传感器及F-P干涉仪等可以实现纳米测量并已经商品化;电容传感器、X射线干涉仪、F-P干涉仪等少数仪器分辨率可达或接近皮米级,但因其测量范围通常较小,在应用中受一定限制。文中针对几种实际应用比较成熟的激光干涉仪,就其应用领域、技术参数、功能特点等予以介绍。
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