一种雪花型MEMS单刀五掷开关的研究与设计

作者：范丽娜; 吴倩楠; 王姗姗; 韩路路; 侯文^*; 李孟委

来源：微电子学, 2021, 51(04): 533-538.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.200485

• 单刀五掷开关
• MEMS
• 雪花型功分器
• 高隔离
• 低插损

针对MEMS单刀多掷（SPMT）开关插入损耗及隔离度较差的问题,设计了一种基于雪花型功分器的单刀五掷（SP5T）MEMS开关,通过雪花型功分器实现信号的均衡分配和低损耗传输。通过设计H形上电极结构,有效减小开关弱接触,增强开关接触稳定性,实现信号的高隔离。采用HFSS仿真软件,对开关的插入损耗、隔离、驱动电压和应力分布进行了设计,并结合COMSOL软件对开关进行了机械性能分析。结果表明,在1～20 GHz频段内,五个端口插入损耗在0.2 dB@20 GHz以下,隔离度在23 dB@20 GHz以上,驱动电压为24 V。这些指标均优于常规SPMT开关。该SP5T MEMS开关可应用于多任务、多通道可调谐器件中,在无线通信、微波测试系统中具有应用价值。

• 单位
  中北大学