ZrN系列薄膜的研究进展

作者：李宇恒; 胡社军; 曾鹏; 吴健

来源：工具技术, 2007, (07): 7-12.

DOI：10.16567/j.cnki.1000-7008.2007.07.031

• ZrN
• 薄膜
• 多层
• 复合 ZrN
• film
• multi-layer
• composite

综述了近年来ZrN系列薄膜的研究现状,描述了ZrN薄膜的重要性质,介绍了以ZrN薄膜为基础的多层膜和复合膜的研究状况,分析了制备方法及工艺条件对薄膜的影响,并展望了ZrN薄膜未来的研究方向。

• 单位
  华南师范大学; 广东工业大学