数字散斑干涉形变测量中基于多CCD的相位拼接（英文）

作者：隆军; 蔡萍^*; 潘淑媛; 刘持越; 闫浩

来源：光子学报, 2022, 51(04): 248-255.

• 数字散斑干涉
• 相位拼接
• 相位偏差
• 形变测量
• 多CCD

在数字散斑干涉测量中，对于给定尺寸的CCD，很难在不影响形变测量横向分辨率的情况下扩大视野。针对该问题，提出了一种在不影响横向分辨率的情况下拼接多个子图像相位以扩大视野的方法。设计并搭建了一套多CCD实验装置来获取多个子图像。利用重叠区域解包裹后的相位图估计相邻子图像之间的相对位置并补偿相位偏差，实现正确的相位拼接。为了使用尽可能少的CCD获得尽可能大的视野，分析了重叠区域大小对拼接效果的影响。权衡视野和精度，重叠区域的最佳尺寸约为10%。所提方法在只使用两个CCD的条件下实现了视野从5.5 cm×4 cm扩大到10 cm×4 cm。拼接前后重叠区域的最大相对误差小于1%，证明了该方法的有效性。此外，还比较了所提方法与单CCD的形变测量均方根误差（RMSE）。结果表明，提出的方法具有与单CCD形变测量接近的测量精度。

• 单位
  上海交通大学