随着电子元件向微型化、柔性化、智能化发展,迫切需要介电材料具有更优异的介电性能.原子力显微镜作为一种具有纳米级高分辨率的测量仪器,在纳米电介质的研究中表现出独特的优势,功能化原子力显微镜的诞生更是为纳米电介质微区性质的研究做出重要贡献.本文综述了原子力显微镜、静电力显微镜、开尔文探针力显微镜、压电响应力显微镜和原子显微镜-红外光谱在研究介电材料纳米区域的微观形貌、界面结构、电畴变化和电荷分布方面的最新研究进展,并对现有研究中存在的问题和未来可能的发展方向进行了讨论.
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