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摘要
针对无线传感网络节点和5G装置需求，开展多源一体化微电源研究，详细论述了多源集成微电源设计、单体电池制备与多源集成技术等。基于物理气相沉积技术分别研制了高效光伏电池、温差发电器件，以及薄膜储能电池，对各自的电池性能进行了优化。采用基于PCB板基的三维异构集成技术，将多源发电、微型储能及电源控制芯片一体化集成，集成一体化微电源体积3.60 cm3(包括插孔引线位)，多源发电最大功率密度达到30.00 mW/cm2，系统额定输出功率密度达到1.04 mW/cm2。
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单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 中国电子科技集团公司第十八研究所
