使用PEM监控制备光致亲水性TiO_2薄膜的研究

作者：段永利; 许生; 巴德纯; 高文波; 范垂祯

来源：真空科学与技术学报, 2007, (05): 413-417.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2007.05.014

• TiO2薄膜
• 亲水性
• PEM
• 反应溅射 TiO2 thin films
• Hydrophilicity
• Reactive sputtering

本文采用中频反应磁控溅射方法在玻璃表面制备了TiO2薄膜,为使反应溅射的工作点能够稳定在"过渡区",得到较高的薄膜沉积速率,使用了等离子体发射光谱监控法(Plasma Emission Monitor,PEM)对溅射过程进行控制。利用台阶仪测膜厚,用X射线衍射(XRD)和透射率光谱扫描等测试方法对薄膜的特性进行表征。对制得的薄膜进行了光照试验,研究了温度、PEM工作点等不同工艺条件对薄膜亲水性的影响。薄膜经过1 h左右的紫外光照射,得到了很好的亲水性效果,其表面的水接触角达到了小于1°的水平。将薄膜经过光照后再置于黑暗中一段时间,如此循环了5次,仍具有很好的光致亲水效果,证明此过程是可以循环重...

• 单位
  自动化学院; 东北大学; 深圳豪威真空光电子股份有限公司