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摘要
本文介绍了一种500ppm及以下极低水汽封装器件的内部水汽含量测试技术。该测试在标准化的质谱分析法基础上进行，预先制备了标准含量的水汽混合气体，使用该水汽标准气体进行校准，有效提高了测试精度。比对了不同校准次数取平均值的校准效果，最后测得极低水汽封装产品的水汽含量为（103～317）ppm，结果表明3次校准后取平均值进行结果修正能满足极低水汽封装的指标验证需求。
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本文介绍了一种500ppm及以下极低水汽封装器件的内部水汽含量测试技术。该测试在标准化的质谱分析法基础上进行，预先制备了标准含量的水汽混合气体，使用该水汽标准气体进行校准，有效提高了测试精度。比对了不同校准次数取平均值的校准效果，最后测得极低水汽封装产品的水汽含量为（103～317）ppm，结果表明3次校准后取平均值进行结果修正能满足极低水汽封装的指标验证需求。
