一种赝竖式金刚石雪崩二极管及其制备方法

作者：何琦; 张金风; 任泽阳; 张进成; 郝跃

来源：2020-10-10, 中国, ZL202011076947.2.

本发明涉及一种赝竖式金刚石雪崩二极管及其制备方法,包括：本征金刚石衬底；第一P型金刚石层,位于本征金刚石衬底上；本征金刚石层,位于第一P型金刚石层的中心；欧姆电极,位于第一P型金刚石层上且环绕本征金刚石层；第二P型金刚石层,位于本征金刚石层上,本征金刚石层与第二P型金刚石层共同形成台面结构；肖特基电极,位于第二P型金刚石层上。该雪崩二极管通过采用金刚石作为雪崩二极管的衬底材料,并使得二极管形成贋竖式PIP结构,提高了雪崩二极管的雪崩发生几率、击穿电压、工作电流及响应速度,抑制了因工作温度过高而导致的失效问题,使得雪崩二极管雪崩状态可控且在高重频短脉冲下具有稳定复现的高击穿场强。

• 单位
  西安电子科技大学