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摘要
本发明属于薄膜器件分析领域,公开了一种检测TFT中通过溶液法所制备的绝缘层的质量的方法。将溶液法绝缘层TFT样品放置于μ-PCD仪器中,测试样品的载流子强度以及光电导衰减情况,从而得出溶液法绝缘层的均匀性及TFT器件质量；所述溶液法绝缘层TFT包括依次层叠的玻璃片、溶液法绝缘薄膜和半导体有源层薄膜,所述半导体有源层薄膜完全覆盖绝缘薄膜。本发明以简单的样品结构和测试方法,解决了溶液法加工绝缘薄膜均匀性测试的问题,同时为溶液法绝缘薄膜对半导体的影响提供了一定的参考价值,具有很强的实用性。
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