本文基于某大型光学薄膜器件生产企业作业环境设计实践，探索出生产工艺流程，确定光学镀膜核心工序及生产线整体功能分区，结合各工序工艺要求及洁净等级对器件表面缺陷的影响程度，设计光学薄膜生产线各区域洁净度等级、温湿度、风量等需求及适宜选用的HVAC系统，实现减少光学薄膜器件表面缺陷目标的作业环境设计。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
