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摘要
本发明公开了一种铁电材料可重构场效应晶体管,该晶体管包括：沟道、设置在沟道一端的漏极及沟道另一个端的源极、设置在沟道外侧的栅极介电缓冲层、包裹在栅极介电缓冲层外侧的铁电材料层、分别设置在源极和漏极端且铁电材料层外侧的控制栅极以及极性栅极、用于控制栅极和极性栅极与源极和漏极电学隔离的内边墙及外边墙。本发明置于栅极介电缓冲层外侧的铁电材料层能在其下方沟道处产生的极化电荷,提高了栅极对沟道的控制能力,增大了相同栅极电压下的开启电压,降低了器件的亚阈值摆幅,减小了器件的静态功耗。栅极介电缓冲层隔离了沟道与铁电材料,阻挡二者的相互扩散并不对铁电材料层的极化特性产生影响。
- 单位
