键合机热台温度研究

作者：柴亮; 孙永超

来源：电子工业专用设备, 2012, (06): 7-10.

• 热台
• 温度均匀性
• 热平衡 heat table
• tempreture equality
• balance of heat

键合机在工作时需要用热台将工件加热到一定温度,热台不仅要将工件加热,而且要保证加热均匀,否则会影响产品的质量。采用ANSYS对热台进行优化分析,然后通过实验分析验证,最终得出影响热台温度均匀性的因素。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所