硼碳氮薄膜的脉冲激光沉积及其光学性能

作者：杨琼; 王传彬; 章嵩; 张东明; 沈强; 张联盟

来源：功能材料与器件学报, 2010, (04): 358-362.

• 硼碳氮薄膜
• 脉冲激光沉积
• 成分
• 光学性能 BCN thin films
• Pulsed laser deposition
• Composition
• Optical properties

采用脉冲激光沉积技术,在Si(100)和石英基片上制备了硼碳氮薄膜(BCN)。利用X射线衍射(XRD),傅里叶变换红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)和紫外-可见分光光度计对BCN薄膜进行了表征,研究了激光能量密度对BCN薄膜沉积速率、组分、结构和光学性能的影响。FTIR和XPS分析结果表明BCN薄膜中包含B-C,C-N和N-B化学键,说明实现了B、C和N的原子级化合。当激光能量密度从1 J/cm2增加到6 J/cm2时,BCN薄膜的沉积速率加快,N含量由7.2%增加到15%,光学禁带宽度(Eg)从4.02 eV降低到3.82 eV,Eg的降低主要与BCN薄膜中碳含量的增加有关。

• 单位
  材料复合新技术国家重点实验室; 武汉理工大学