光学加工中真空夹具设计及分析

作者：陈华男; 李显凌; 孙振

来源：真空, 2013, (04): 78-82.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2013.04.009

• 真空夹具
• 光学元件
• 防护层
• 光学加工 vacuum fixture
• optical lens
• protective layer
• optical processing

为了在光学加工中快速、可靠地装夹光学元件,设计了真空夹具,对该真空夹具引起光学元件变形量进行了分析。首先,根据光学加工对夹具的要求,应用手动静压快速夹头以及传统真空吸盘结构,设计了真空夹具;接着,对真空夹具引起光学元件变形量进行了仿真分析,并根据分析结果改进了真空夹具结构;最后,针对改进后的真空夹具进行了仿真验证。仿真结果表明:有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量在0.1μm～0.32μm之间,是没有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量的1/14。该种真空夹具可以应用于高精度光学加工中。

• 单位
  应用光学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所