NiFe/FeCo/[FeCo]_xO_(1-x)多层膜的高频磁性能研究

作者：汪学锋; 张怀武; 陈栖洲; 钟智勇

来源：磁性材料及器件, 2010, (02): 25-28.

• 磁性多层薄膜
• 共振频率
• 高频磁性能 magnetic multilayers
• resonance frequency
• high frequency magnetic properties

采用直流磁控溅射制备NiFe/FeCo/[FeCo]xO1-x多层膜,并采用振动样品磁强计、四探针法和微带终端短路微扰法分别对薄膜的磁特性、电阻率以及磁谱进行测量。研究结果表明,薄膜中[FeCo]xO1-x层的加入有效地降低了难易轴矫顽力,提高了薄膜的电阻率和共振频率。随着[FeCo]xO1-x层厚度的增加,电阻率可提高到173μΩ·cm左右,共振频率可达2.0GHz,有效地降低了薄膜涡流损耗,提高了薄膜的高频特性。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室