MIM电容研究进展

作者：张秋香

来源：企业技术开发, 2013, (05): 90-91.

• MIM电容
• ALD
• high-k材料

随着集成电路的发展,传统的电容器件已经不能满足射频电路的要求。金属-绝缘体-金属(MIM)电容器件成为替代传统电容器的新型电容器件。文章介绍了对MIM电容的要求,制备MIM电容的主要方法,总结了MIM电容的研究现状以及待解决的问题。

• 单位
  上海建桥学院