CFEC/Pb(Mg1/3Nb2/3)03-PbTi03结构乐甫波传感器的理论研究

作者：罗子情; 王晓鹏; 马玉姣; 黄乃兴^*

来源：电子世界, 2019, (12): 86-87.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2019.12.042

<正>1.引言乐甫模式声波传感器已经广泛应用于生物化学和气体检测。乐甫波只能存在于波导层/基底复合结构中,且波导层中的剪切波速低于基底中的剪切波速。关于乐甫波器件波导层的研究,Du等人通过射频溅射技术成功制备出厚度达7.3μm的熔凝石英(Si02)厚膜,这种技术的采用解决了Si02波导层的制备难题。单向碳纤维树脂复合材料(CFEC)的声阻抗与Si02和铝的声阻抗非常接近,且其密度更

• 单位
  东北石油大学