离子注入机台水汽状况监控的研究

作者：国子明; 姚雷; 王毅; 郭国超; 张凌越

来源：集成电路应用, 2019, 36(07): 31-33.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2019.07.010

• 集成电路制造
• 闪存产品
• 离子注入
• 水汽类颗粒物

针对闪存产品(Flash)生产过程中出现的良率低下问题,研究离子注入机台水汽类颗粒物的监控方法。做了一系列实验,推导出离子注入过程中水汽对离子注入影响的机理。形成一套简单、有效监控离子注入机台水汽类颗粒物的方法。基于此方法的有效实施,可以避免闪存产品等在生产过程中,由于水汽类颗粒物导致的良率低下等问题。