超声辅助SILAR法生长纳米晶ZnO多孔薄膜及其光学性能研究

作者：高相东; 李效民; 于伟东

来源：无机材料学报, 2005, (04): 965-970.

• ZnO
• 薄膜
• 连续离子层吸附与反应方法(SILAR)
• 超声辐照 ZnO
• thin film
• successive ionic layer adsorption and reaction (SILAR)
• ultrasonic irradiation

将超声辐照技术引入连续离子层吸附与反应(SILAR)法,提出超声辅助连续离子层吸附与反应(UA-SILAR)液相成膜技术.以锌氨络离子([Zn(NH3)4]2+)溶液为前驱体,在90℃下沉积得到ZnO薄膜,对其晶体结构,微观形貌、透过光谱和光致发光性能进行表征, 并考察了超声辐照和沉积循环次数对薄膜形貌、结构和光学特性的影响.结果表明,所得薄膜由彼此交联、尺寸均匀的ZnO晶粒组成,呈现典型的多孔特征,同时具有高结晶性和强c轴取向性.由于多孔结构对入射光的散射作用,薄膜在可见光区具有低透射率(约20%);在紫外光激发下,薄膜具有较强的近带边发射和很弱的蓝带发射,体现出薄膜较高的光学质量;薄膜生长...

• 单位
  高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室; 中国科学院上海硅酸盐研究所